ASM AMICRA 推出业界首个采用 X-Celeprint MTP技术的制造系统,实现大规模超薄芯片的异构集成

26.04.2021

成熟微转移打印技术能够同时大规模地拾放大量超薄芯片阵列,为3D集成电路带来新的异构集成能力

NOVA+MTP 制造系统

德国里根斯堡; 爱尔兰科克及北卡罗来纳州三角研究园(2021年4月26日) – ASM AMICRA Microtechnologies GmbH (“ASM AMICRA”), ASM 太平洋科技有限公司的子公司, 发布三款新的制造系统,它们结合了 X-Celeprint 的微转移打印(MTP)和ASM AMICRA 的高精度固晶技术,打造半导体行业第一个完整的系统,成功地将大量超薄芯片异构集成到300毫米基底晶圆上。

X-Celeprint MTP 工艺堆叠超薄芯片,称为 X芯片,它可以是千变万化的1,还可以采用不同的工艺节点和技术2来创建模拟单片3D集成电路,以提高高性能计算、通信、移动装置、汽车、工业、医疗和国防系统的功率、性能、面积、成本、上市时间和安全性。

ASM AMICRA 近20年来一直在完善超高精度固放技术,目前已将X-Celeprint 的 MTP 技术整合到三个不同的制造系统中,其中包括:

  • Nova+ MTP系统,符合ISO 4洁净室级系统要求,适合高产量需要的市场,该系统采用 50x50mm MTP 转移印章,大规模同时拾放x芯片。其放置精度为±1.5µm,周期时间为40秒
  • NANO MTP系统,适用于更高精度要求(±0.3µm)的市场,如光子市场等
  • AFC+ MTP系统,适用于研发和小批量制造市场。其放置精度为±1.0µm,周期时间为50秒

X-Celeprint 和 ASM AMICRA 通过提供开发支持,以促进 MTP 的技术采用,支持包括设计咨询、协助优化设计和流程,以及原型服务,以确保产品成功推出。广泛的关系网,供应商、制造商和研究人员,以支持客户的项目需求,包括授权计划。

1 X芯片包含射频和功率晶体管、硬件保证功能、光子学、传感器、电容器、电感、滤波器、天线等等,未能尽录
2 工艺包括SOI、GaN、GaAs、InP、SiGe或其他

关于 ASM AMICRA
ASM AMICRA Microtechnologies GmbH 是一家全球领先的超高精度芯片贴装系统供应商。ASMAMICRA系统专攻精确至 ±0.3µm @3σ 亚微米级的放置精度,应用于光子学和半导体市场。该系统还支持固晶、覆晶、共晶、银浆固晶和X-Celeprint的微转移打印(MTP)工艺。所服务的市场包括硅光子、光电子、有源光缆(AOC)、VCSEL、激光二极管、2.5D/3D集成电路、晶圆级封装(WLP)、大面板扇出/嵌入式晶圆级封装(EWLP)和汽车传感器/激光雷达。ASM AMICRA总部位于德国里根斯堡,在全球设有销售和服务支持办事处。

关于 X-Celeprint股份有限公司
X-Celeprint 授权MTP技术,该技术由300多项全球专利和189项待决申请组成,支持半导体制造商采用MTP。X-Celeprint与Micross 一同位于北卡罗来纳州三角研究园(Research Triangle Park)和爱尔兰科克市廷德尔国家研究所(TyndallNational Institute),Micross拥有一家可靠的、符合ITAR标准的200mm晶圆厂,具有广泛的异构功能。这两家厂区均在其研发的先进包装线运用MTP技术,以支持客户与快速原型。X-Celeprint与学术中心建立了研究合作关系,包括伊利诺伊大学香槟分校和根特大学/imec。

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如需了解更多信息,请联系:

ASM AMICRA Microtechnologies GmbH
Dr. Johann Weinhaendler, Managing Director
Johann.weinhaendler@asmpt.com
+49 941 2082090
http://www.amicra.asmpt.com

X-Celeprint, Ltd.
Bob Conner, Vice President, New Application Business Development
+1 (919) 757-6825
bconner@x-celeprint.com
https://x-celeprint.com/

媒体查询︰
Lim Ee Guan
Director, Corporate Communications
ASM Pacific Technology Limited
Tel: +65 6450 1445
Email: eg.lim@asmpt.com

X-Celeprint,Inc. 代表
Chris Burke
President, BTB Integrated Marketing
+1 (919) 872-8172
Chris.burke@btbmarketing.com

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